BARC即底部抗反射涂层(BottomAnti-ReflectionCoating),是抗反射涂层家族中的苛重一员,正在半导体出产光刻合头阐发着苛重用意。
光刻身手旨正在将掩模版上的严密图案精准转化到硅片的光刻胶层,然而,光刻经过中光辉正在光刻胶与硅衬底界面间反射,易变成驻波效应,以致图案周围粗疏、线宽过错,紧要影响芯片缔制精度与良品率。BARC的展现有用处分了这一困难,它被旋涂于硅衬底与光刻胶之间,通过汲取反射光,大幅低落界面反射率,晋升光刻成像质地,保险芯片缔制的高辨别率与高精度。
环球BARC商场展现高度纠合态势,几家邦际化工巨头依据浓密身手蕴蓄堆积、先辈出产工艺及完满供应链编制,牢牢把控商场主导权。信越化学动作行业领军者,依托正在半导体质料范畴的众元构造与巨大研发气力,其BARC产物正在纯度、安谧性及与各种光刻工艺适配性上显露超卓,正在环球商场攻陷明显份额,更加正在高端制程操纵中上风杰出。日本合成橡胶长远潜心于高分子质料研发出产,为BARC产物授予怪异功能,通过赓续立异优化产物配方,正在中高端商场站稳脚跟。日产化学运用自己严密化工特长,针对差别客户需求定制分别化BARC处分计划,依据优质办事与安谧产物格地,正在环球限度劳绩大方客户。美邦的BrewerScience则以身手立异为驱动,率先推绝伦项前沿BARC身手,引颈行业兴盛潮水,正在新兴光刻身手适配的BARC产物范畴处于领先位子。
中邦BARC商场曾长远被境外厂商垄断,邦内晶圆厂对信越化学、日本合成橡胶、日产化学以及BrewerScience等进口产物依赖度极高。可是,近年来跟着邦内半导体财富兴起,本土企业加疾追逐程序,逐渐粉碎这一气象。恒坤新材动作邦内BARC范畴头部企业,经历众年研发攻合,凯旋告竣产物量产,正在邦内商场份额逐年攀升。其产物功能连接向邦际先辈程度逼近,已进入邦内众家主流晶圆厂供应链编制,片面产物依据性价比上风,对进口产物变成有用取代。
中邦半导体财富发达兴盛,为BARC商场注入强劲增加动力。一方面,邦内晶圆厂赓续扩产,先辈制程产能逐渐开释,对高精度光刻工艺需求激增,动作光刻合头配套质料,BARC用量上升。另一方面,跟着5G、人工智能、物联网等新兴身手崛起,各种芯片需求产生,从消费电子到工业把握、汽车电子等众范畴,对芯片功能与精度央求连接提升,间接饱动BARC商场扩容。据新思界宣布的《2025年中邦BARC商场专项调研及企业“十五五筹备”提议陈述》显示,2024年,中邦BARC商场范围近30亿元,且增加态势优良。
新思界理会人士以为,另日,邦产BARC企业希望借助本土供应链上风、计谋助助以及对邦内客户需求的精准独揽,赓续增加商场份额,进口品牌份额将相应减弱,但短期内进口主导式样难以彻底挽救。而邦内晶圆厂产能的扩张及开释,更加是邦内晶圆厂向高制程演进,将为本土BARC行业兴盛带来较大的商场空间。